Метрология
Термические приборы
Главная / Каталог / Оптические микроскопы / Конфокальные / Лазерный сканирующий микроскоп 3D NS-3500

Каталог

Категории
Лазерный сканирующий микроскоп 3D NS-3500
Добавить в сравнение
Запросить цену на товар
Заполнить опросный лист
Поделитесь в соц.цетях:
Доставка в любую точку России и СНГ
Оплата наличным и безналичным способом
Доставка в течении недели
Гарантия 12 месяцев
Описание
Характеристики
Отзывы
Комплектация
Расходные материалы
Документы
Для просмотра таблицы осуществляйте горизонтальную прокрутку.
Описание: 

Лазерный сканирующий микроскоп NS-3500 является высокоскоростным конфокальным микроскопом (CLSМ) для проведения точного и надежного трехмерного измерения. Получение конфокального микроскопического изображения в режиме реального времени достигается за счет быстрых оптических сканирующих модулей и алгоритмов обработки сигналов. Данная система является перспективным решением для измерения и проверки микроскопических 3D структур, таких как полупроводниковые пластины, FPD панелей, MEMS устройств, стеклянных подложек и поверхностей материалов.

Особенности и преимущества

  • Неразрушающее оптическое 3D-измерение высокого разрешения
  • Конфокальное построение изображений в режиме реального времени
  • Различное оптическое увеличение
  • Одновременная конфокальная микроскопия и микроскопия белого света
  • Автоматический поиск усиления с тонким автофокусом
  • Компенсация наклона — режим простого анализа
  • Точное и надежное высокоскоростное измерение высоты
  • Проверка функций с помощью полупрозрачной подложки
  • Отсутствие пробоподготовки
  • Двойной режим сканирования по высоте

Принцип измерения и построения изображений

Микроскоп NS-3500 обеспечивает одновременно цветное ПЗС изображение, а также лазерное сканирующее конфокальное изображение. Возможность измерения высоты доступна благодаря конфокальному расположению источника, образца и детектора. Благодаря использованию конфокальной техники на фотодетектор попадает только сфокусированный сигнал. Это свойство определяет оптическую селективную способность конфокального микроскопа NS-3500. Конфокальная диафрагма также улучшает качество изображения, исключая шум от внешней области вне фокуса.

Для получения 3D профиля поверхности образца, оптически-секционные плоские изображения собираются вдоль оси Z. Интенсивность света становится максимальной, когда поверхность образца размещена в фокальной плоскости, а осевая координата поверхности образца может быть найдена непосредственно. С помощью фиолетового лазера, фотоумножителя (ФЭУ) и пьезоэлектрического осевого сканера NS-3500 выполняет конфокальное оптическое секционирование наиболее надежным способом.

Программное обеспечение NSWorks & NSViewer

  • Простое и интуитивное управление даже для новых пользователей.
  • ПЗС изображение, конфокальное изображение, а также основная панель управления одновременно отображаются на одном экране.
  •  
  • Разные параметры настройки предназначены для передовых приложений.
  • Построение конфокального изображения в режиме реального времени обеспечивает немедленную обратную связь с оборудованием.
  • Отдельно окно анализа с удобными графическими инструментами для создания отчетности.
  • Объемный графический вид позволяет пользователю легко распознать микроскопическую структуру образца.

Области применения

Лазерный сканирующий микроскоп N5-3500 предназначен для измерения высоты, ширины, угла, площади и объема микро- и субмикро- структур, таких как:

  • Полупроводники IC структура, высота структуры, дефектация, CMP процесс
  • Производство FPD — высота пространственных ЖК столбцов, высота ребер PDP, обследование покрытия
  • Устройства на основе МЭМС — 3D профилирование структуры, шероховатость поверхности, MEMS структура
  • Стеклянные поверхности — тонкопленочные солнечные элементы, лазерное формирование изображения, глубина царапин
  • Исследование материала — проверка опорной поверхности, шероховатость, анализ трещин, исследование прозрачных слоев

Функциональные возможности

По умолчанию область сканирования составляет 150 × 150 мм, также ее можно легко расширить до 200 × 200 мм. Можно увеличить область сканирования еще больше, но при этом конструкция изменится.

Если образцы одинаковые, Вы можете очень легко проводить повторные измерения (в полуавтоматическом режиме). Процесс выглядит следующим образом:

  • Поместите образец на предметный столик
  • Нажмите кнопку «Run»
  • Образец переместится в определенное положение и будет произведено измерение

Принадлежности

Линзовый объектив

Объективы специальной конфигурации могут быть сделаны в соответствии с потребностями клиентов. Правильный выбор объективов с учетом области применения и условий эксплуатации позволит оптимизировать оптические характеристики NS-3500.

Моторизированная турель

Переключение объективов с помощью моторизованной револьверной головка позволяет увеличить эффективность работы.

Моторизированный XY предметный столик

Моторизированный XY предметный столик может быть сопряжен с NS-3500 и управляться с помощью мыши или джойстика. Сшитие изображений будет доступно после обновления программного обеспечения NSViewer.

Применение промышленного модуля

Простота установки и надежная для промышленного оборудования конструкция обеспечивают хорошее решение для работы в полевых условиях. Доступно индивидуальное изменение дизайна.

Технические характеристики

 

Модель

Микроскоп

NS-3500

Примечание

 

Контроллер

NS-3500Е

 

Увеличение линзового объектива

10х

20х

50х

100х

150х

 

Наблюдение / Диапазон измерений

Горизонтальное (Г): мкм

1400

700

280

140

93

 

Вертикальное (В): мкм

1050

525

210

105

70

 

Рабочее расстояние: мм

16,5

3,1

0,54

0,3

0,2

 

Числовая апертура (N.A.)

0,30

0,46

0,80

0,95

0,95

 

Оптическое увеличение

От 1х до 6х

 

 

Общее увеличение

От 178х до 26700х

 

 

Оптическая система для обзора/измерения

Конфокальная оптическая система (пинхол)

 

 

Измерение высоты

Диапазон сканирования

Тонкое сканирование : 400 мкм (и/или) длинное сканирование: 10 мм ( NS-3500-S)

Примечание 1

 

Тонкое сканирование : 200 мкм (и/или) длинное сканирование: 7 мм ( NS-3500-T)

 

Разрешение дисплея

0.001 мкм

 

 

Повторяемость σ

0.010 мкм

Примечание 2

 

Измерение ширины

Разрешение дисплея

0.001 мкм

 

 

Повторяемость 3σ

0.02 мкм

Примечание 3

 

Память кадров

Количество пикселей

1024x768, 1024x384, 1024x192, 1024x96

 

 

Для монохромного изображения

12 бит

 

 

Для цветного изображения

8-бит для каждого RGB

 

 

Для измерения высоты

16 бит

 

 

Частота кадров

Сканирование поверхности

От 20 до 160 Гц

 

 

Линейное сканирование

~8 кГц

 

 

Автоматические функции

Автоусиление, автофокусировка 

 

 

Лазерный источник для конфокальных измерений

Длина волны

Фиолетовый лазер, 405 мм

 

 

Выходная мощность

~2 мВт

 

 

Класс лазера

Класс 3b

 

 

Приемник лазерного излучения

ФЭУ (фотоэлектронный умножитель)

 

 

Источник света для оптического наблюдения

Лампа

10 Вт LED

 

 

Цветовая камера для оптического наблюдения

Тип

1/2" цветная CCD матрица

 

 

Разрешение записи

640x480

 

 

Автонастройка

Усиление, Скорость шаттера

 

 

Блок обработки данных

Специализированный ПК

 

 

Источник питания

Напряжение источника питания

от 100 до 240 В, 50/60 Гц

 

 

Потребляемая мощность

макс. 500 В*А

 

 

Вес

Микроскоп

~ 50 кг (измерительная головка: ~ 11 кг)

 

 

Контроллер

~ 8 кг

 

 

Защитная система

Активная защита

Опция

 

Описание нет
Описание нет
Описание нет
nanoscope_ns3500_ru.pdf
5.18 МБ • pdf
Похожее оборудование:
Тиски для микроскопов являются одним из важнейших аксессуаров для микроскопии
Запросить цену
Сравнительный микроскоп Leica FS C Сравнительный микроскоп Leica FS M
Запросить цену
MS1 Портативный микроскоп MS1  
Запросить цену
Запросить цену на товар
Заполнить опросный лист
Купить в 1 клик
Лазерный сканирующий микроскоп 3D NS-3500