Инспекционный микроскоп Leica DM3 XL.
Новейший инспекционный микроскоп Leica DM3 XL для работы с полупроводниковыми пластинами до 6” (150мм).
|
|
|
|
|
Microscope Leica DM3 XL
The high efficient Inspection System for 6” samples in Microelectronics
Увеличение: | от 7 крат до 3000 крат |
Методы контрастирования: | Светлое поле, темное поле, поляризация, дифференциально-интерференционный контраст, косое освещение |
Фокусировка: | 2-ступенчатая фокусировка (грубая/точная с микрометрической шкалой 1 мкм с верхним ограничителем фокусировки) или 3-ступенчатая |
Ход фокусировки по Z: | 30 мм |
Объективы: | HI PLAN EPI 5x, 10x, 20x N PLAN EPI 2.5x - 100x PLAN FLUOTAR 1.25x - 100x PLAN APO 0.7x Macro 50x, 100x, 150x |
Турель: | 5-ти, 6-ти, 7-ми позиционная |
Предметный Стол: | 150 мм x 150 мм. (Опционально: металлические вставки и держатели пластин) |