AXALIT Микроэлектроника: контроль качества и метрология полупроводниковых пластин

В микроэлектронике требования к точности измерений и контролю качества крайне высоки. Ширина дорожек, зазоры между элементами, наличие дефектов и загрязнений — от этих параметров зависит работоспособность готового изделия. 

Модуль AXALIT Микроэлектроника автоматизирует исследования в микроэлектронике. Он подключается к базовой версии ПО AXALIT и предназначен для контроля и метрологии полупроводниковых пластин, а также анализа поверхности печатных плат и других микроэлектронных элементов.

Две методики 

Модуль предлагает два подхода к исследованию в зависимости от поставленной задачи.

1. Автоматическое распознавание дефектов

Методика предназначена для поиска и классификации дефектов на поверхности полупроводниковых пластин и печатных плат.

Как это работает:

• оператор с помощью микроскопа создаёт панорамное изображение из неограниченного количества полей зрения;
• программа находит контуры всех дефектов и загрязнений на изображении;
• система классифицирует каждый объект, присваивая ему имя согласно ранее обученной базе данных;
• оператор получает итоговый отчёт с гистограммами количественных показателей дефектов и примерами найденных частиц.

Ключевое преимущество: возможность задавать базу данных различными типами загрязнителей. Программа отличает одни частицы от других, даже если загрязнитель находится поверх элементов платы.

2. Съёмка по шаблону (прецизионные геометрические измерения)

Методика предназначена для проведения точных измерений в заданных координатах платы.

Как это работает:

• оператор задаёт координаты контрольных точек, которые программа запоминает;
• при запуске методики программа автоматически перемещается по пластине и производит замеры в указанных точках;
• после исследования оператор получает измерения каждого элемента с погрешностью до 0,5 мкм.

Важно: методика «Съёмка по шаблону» работает только на микроскопах с моторизированным предметным столиком. Если у вас ручной микроскоп, мы можем провести модернизацию микроскопа системой моторизации AXALIT MS.

Дополнительные возможности

• создание панорамных изображений с повышенной глубиной фокуса;
• нанесение аннотаций на изображения;
• геометрические измерения элементов печатных плат и кремниевых пластин;
• формирование развёрнутых отчётов со статистикой, таблицами и гистограммами.

Итог

Модуль AXALIT Микроэлектроника — это специализированное решение для контроля качества в электронной промышленности. Он позволяет стандартизировать процессы измерений, исключить влияние человеческого фактора и получать точные данные.

ПО внесено в реестр российского ПО и Государственный реестр средств измерений. Работает на Windows и Linux.

Хотите протестировать модуль на своих образцах? Запишитесь на демонстрацию.

Телефон: 8 800 250-54-40
Email: info@axalit.ru