|
|
|
|
|
S mart соеденил в себе все существующие технологии в оптической профилометрии. Прибор объединяет в одной сенсорной головке технологии конфокальной микроскопии и интерферометрии без каких либо движущихся частей. Он может устанавливаться на обрабатывающие станки и оборудование для контроля обработки деталей и образцов.
Прибор выполнен с пылезащищенном исполнении.
Измерение шероховатости до 10 нм, угол до 86 градусов.
Разрешение по Z - 2 нм.
Применение:
Применяемые технологии:
Конфокальная микроскопия (Confocal)
Интерферометрия (Interfefometry: PSI, ePSI, VSI)
Изменение фокуса (Focus Variation)