Инспекционный микроскоп ADF C150

ADF C150 – инспекционный микроскоп для исследования кремниевых пластин и фотошаблонов с большим предметным столом.

ADF C150 – инспекционный микроскоп для микроэлектроники

ADF C150, C200 и C300 – инспекционные микроскопы для исследования кремниевых пластин и фотошаблонов. Отличия линейки – в размерах стола:

• C150 – 150 мм (изучение фотошаблонов либо кремниевых пластин до 6″)
• C200 – 200 мм (изучение фотошаблонов либо кремниевых пластин до 8″)
• C300 – 300 мм (изучение 12″ кремниевых пластин)

Оснащены большим предметным столом для работы в проходящем и отраженном свете, поляризацией, ДИК-контрастом. Поле зрения окуляров до FN26. Микроскоп ADF C150 оснащается план-полуапохроматическими объективами, обеспечивающими разрешение до 0,2 мкм при увеличении 100×, столиками для кремниевых пластин до 6″ с диапазоном перемещения 158×158 мм по XY, с рукояткой для быстрого и высокоточного перемещения.

Микроскопы ADF линейки C – модели C150, C200 и C300 – созданы для проведения высокоточного измерительного контроля фотошаблонов и кремниевых пластин. Могут быть внесены в реестр СИ как программно-аппаратные комплексы анализа микроструктуры поверхности в составе с камерой и измерительным программным обеспечением. К микроскопу можно подключить цифровую камеру с ПО для измерений топологии исследуемых объектов, например камеру ADF PRO20 – 20-мегапиксельную камеру с передачей живого изображения до 60 кадров в секунду.

Эргономика, удобство работы при операциях контроля

Эргономичное расположение инструментов фокусировки, настройки интенсивности света и ручки перемещения столика позволяет оператору максимально сосредоточиться на изучении объектов, а тринокулярный тубус с изменяемым углом наклона окуляров позволяет сидеть за микроскопом ADF C150 с прямой спиной.

Методики контрастирования, источники света

Микроскоп ADF C150 оснащен галогенным осветителем 12 В / 100 Вт с регулировкой интенсивности света, переключателем между светлым и темным полем для отраженного света и светодиодной подсветкой для работы с фотошаблонами в проходящем свете.

С функцией наблюдения объектов в темном поле, а также поляризационной методикой исследования и ДИК-контрастом оператор может визуализировать царапины, неметаллические включения, трещины и другие дефекты поверхности образца. ДИК-призма позволяет проводить визуальный контроль с рельефным контрастом на увеличении 100×, 200× и 500×; призма универсальная для трех объективов.

Примеры инспекции на ADF C150

	Вейфер. Кремниевые пластины бывают различного диаметра; широкое распространение получили пластины диаметром 4, 6, 8 и 12 дюймов. Микроскоп ADF C150 позволяет работать с пластинами до 6 дюймов. Для пластин большего диаметра в линейке есть микроскопы C200 и C300.
	ДИК. Контактная площадка. Увеличение 500 крат, дифференциальный контраст. ДИК позволяет увидеть равномерность и качество поверхности контактной площадки.
	Светлое поле. Контактная площадка. Та же контактная площадка в светлом поле — классическая методика для контроля топологии и измерений.
	Наноразмер (0,35 мкм). Микроскоп ADF C150 обладает высоким разрешением и позволяет проводить инспекцию топологий вплоть до 0,35 мкм. Детали различимы, структура отчетливо просматривается.

ADF C150, C200, C300 – краткие характеристики

• Отраженный свет: светлое/темное поле, DIC, поляризация. Проходящий свет для работы с фотошаблонами
• Металлический штатив – высокая жёсткость и устойчивость
• Столик 6″, 8″ или 12″ с возможностью быстрого позиционирования
• Металлографические объективы 5×, 10×, 20×, 50×, 100×
• Тринокулярный тубус с выходом на камеру. Окуляры до FN26, прямое изображение
• Светодиодный или галогенный источник света, возможность установки фильтров, изменяющих цветовую температуру

Микроскоп соединяется с цифровой камерой для съемки и измерений. При оснащении программным обеспечением AXALIT вы получаете программно-аппаратный комплекс для измерительного контроля топологии микроэлектронных изделий.