|
|
|
|
|
Прямой ультрафиолетовый микроскоп Leica DM8000 / DM12000 для контроля полупроводниковых пластин в микроэлектронике.
Данный микроскоп позволяет работать на сверхпредельном оптическом разрешении, благодаря освещению УФ 365нм и косому освещению. Пользователь может различить видимые структуры в 160 нм.
Общие технические характеристики микроскопа:
- Образцы размером до 8” / 200 мм или до 12” / 300 мм;
- Методы контрастирования: светлое, темное поле, поляризация, ДИК, ультрафиолетовое освещение UV и OUV, наклонное освещение, макро режим, ИК;
- Светодиодное освещение, интегрированное в микроскоп поддерживает все режимы контрастирования с постоянной цветовой температурой и работает до 20 000 часов;
- Возможность работы в проходящем и отраженном свете;
- Моторизированная или ручная система фокусировки;
- Увеличение от 7х до 1500х, опционально до 3000х;
- Работа в макро режиме при помощи объектива 0.7х, апертурой 0.02, рабочей дистанцией 7.2мм, диаметром 32мм.
- Набор полуапохроматических и апохроматических объективов (0.7х, 10х, 20х, 50х, 100х, 150x);
- Инспекционный ручной стол размером 8” с ходом 202х202мм для Leica DM8000, с возможностью вращения столика для выравнивания пластин или моторизованный инспекционный стол размером 8” с ходом 202х202мм, разрешением по XY 0,01 мкм, скорость хода 240мм в секунду, воспроизводимость < 1 мкм;
- Инспекционный ручной стол размером 12” с ходом 302х302мм для Leica DM12000, с возможностью вращения столика для выравнивания пластин или моторизованный инспекционный стол размером 12” с ходом 302х302мм, разрешением по XY 0,01 мкм, скорость хода 240мм в секунду, воспроизводимость < 1 мкм;
- Держатели пластин на 6-8” или 8-12” с возможность установки вакуума и держателя маски;
- Программное обеспечение позволяет проводить геометрические измерения, создавать панорамные изображение с повышенной глубиной фокуса и просматривать полученные изображения. В базовом наборе рекомендуем приобретать модуль для линейных измерений, модуль для автофокуса и модуль для получения панорамных изображений по XY.
Компания «АКСАЛИТ» разработала моторизированную систему AXALIT MS, которая автоматизирует ручной микроскоп. Благодаря этому оператору больше не нужно тратить время на настройку перед проведением анализа. Подробнее
Гарантийное и постгарантийное обслуживание опытными сервисными инженерами.
Тип микроскопа: | Прямой |
Увеличение: | от 7 крат до 1500 крат |
Методы контрастирования:: | Светлое поле, темное поле, поляризация, дифференциально-интерференционный контраст, косое освещение, ультрафиолетовое освещение, |
Турель: | 6-ти позиционная |
Страна производитель: | Германия |