Модуль AXALIT Microchips является дополнением к базовой версии ПО AXALIT. Программа применяется для контроля и метрологии полупроводниковых пластин, анализа и морфологии поверхности. ПО позволяет проводить геометрические измерения, создавать панорамные изображение с повышенной глубиной фокуса, нанесение аннотаций.

AXALIT Microchips имеет две методики работы: автоматическое нахождение и распознавание дефектов полупроводниковых пластин; проведение точных замеров дорожек и других микроэлектронных элементов печатных плат и кремниевых пластин.

Распознавание дефектов

• С помощью прямого микроскопа оператор сшивает панораму изображения из неограниченного количества полей зрения и запускает ПО.
• Классификация дефектов по типам происходит после нахождения контуров дефектов на изображении.
• После того как объект найден системой на изображении, происходит его классификация. Каждому типу дефектов присваивается имя согласно ранее обученной базе данных.
• Оператор получает итоговый отчёт исследований. На гистограммах приведены количественные показатели дефектов, на прикреплённых изображениях – примеры найденных частиц.

Результат распознавания дефектов литографии в ПО AXALIT Microchips

Уникальность модуля

• Возможность задавать базу данных различными загрязнителями.
• Несмотря на схожесть элементов, ПО отличает одни частицы от других, даже если загрязнитель лёг на элемент самой платы.

Узнайте больше о возможностях ПО AXALIT Microchips из статьи «Внедрение искусственного интеллекта в дефектоскопию МЭМС-производства».

Съёмка по шаблону

При необходимости проведения геометрических измерений в конкретных координатах платы, в AXALIT Microchips реализована возможность съёмки по шаблону.

Принцип работы:

• Оператор задаёт координаты контрольных точек, которые программа запоминает.
• При запуске методики, программа перемещается по пластине, произведя замеры в указанных точка.
• После исследования оператор получает измерения каждого элемента с погрешностью 0,5 мкм.

Посмотрите видео-пример анализа электронной микросхемы по шаблону модулем ПО AXALIT Microchips.

Внимание! Методика "Съёмка по шаблону" работает только на микроскопах с моторизированным предметным столиком. Узнайте о возможности моторизации вашего микроскопа Системой моторизации AXALIT MS.

Пользователи Системы AXALIT Microchips

САМО AXALT внесён в Государственный реестр средств измерений под свидетельством RU.C.27.005.A № 71098-18