S neox - 3D оптический профилометр-конфокальный микроскоп

• Максимальное разрешение по оси Z  - 0,5 нм
• Максимальный диапазон измерений по Z: PSI (20 мкм, CSI 10 мм, Confocal 34 мм)
• Мотризованный револьвер на 6 объектвов в базовой комплектации
• Встроенное измерение тонких пленок
• Измерения в 5-ти осях с S neox Five Axis.
• S Neox разработан для получения быстрых неинвазивных измерений микро и нано-геометрии поверхностей различных конфигураций. Эта система с технологией двойного сенсора очень удобна для научно-исследовательской деятельности и лабораторного анализа качества
• Основанный на технологии микро-дисплея, S neox позволяет производить быстрое конфокальное сканирование за менее чем 10  секунд. Благодаря использованию технологии с отсутствием движущихся частей, компактным размерам и надежной модульной конструкции S neox является отличным аналитическим инструментом.
• S neox позволяет измерять тонкие пленки без установки спектроскопического рефлектометра. (измерение SiO2, Фоторезиста) в диапазоне от 50 нм до 1,5 мкм.
• S neox имеет дискретность измерения от 0,5 нм до нескольких нм, оснащен двойным вертикальным сканером, который работает в комбинации с прецизионным подвижным столиком и пьезо-сканером. Это позволяет добиться наивысшей точности и повторяемости измерений среди приборов, представленных сегодня на рынке.
• S neox использует камеру высокого разрешения 2442 х 2048 пиксела (60fps) в комбинации с дисплеем высокого разрешения 2560 х 1440 пикселов. Прибор имеет четыре LED источника света внутри оптического ядра: красный (630 нм), зеленый (530 нм), голубой (460 нм) и белый (575 нм), которые улучшают латеральное разрешение и длину когерентности оптического излучения.
• Высокоэффективная подсветка и алгоритм высокого контраста идеальны для углового измерения поверхностей с крутизной склонов более 70°. Возможно производить измерения грубо обработанных и отражающих поверхностей, а так же образцов, содержащих разнородные материалы.
• S neoх полностью готовый к работе прибор. Компактный дизайн делает прибор идеальным для быстрого, неразрушающего анализа микро- и наногеометрии поверхности. Прибор представляет собой гибкое решение как для работы и исследований в лаборатории так и для исследований и контроля качества в производстве с измеряемыми деталями размером до 600 х 600 мм2.
• Столики для S neox с перемещением: 40x40 ручной, Моторизованные 114х75 мм, 150х150 мм, 250х200, 300х300 мм, 600х600 мм
• Регулировка по Z - 40 мм моторизованная с разрещение 5 нм, 200 мкм с пьезосканером с разрешением 0,5 нм, 150 мм или 350 мм ручная регулировка колонны (опционально)
• Мощное программное обеспечение SensoSCAN 7.0 

Применение:

1. Машиностроение и авиакосмическая отрасль
2. Материаловедение  
3. Энергетика
4. Криминалистика
5. Контроль лазерной гравировки
6. Микроэлектроника 
7. Микромеханика
8. Оптика
9. Полупроводники
10. Потребительская электроника
11. Фотовольтика
12. Дисплеи
13. Часовая промышленность

Применяемые технологии:

• Конфокальная микроскопия (Confocal)  
• Интерферометрия (Interfefometry: PSI, ePSI, СSI)
• Изменение фокуса (Ai Focus Variation)
• Confocal Fusion
• Опционально DIC (ДИК)