Специализированный модуль программного обеспечения AXALIT Microchips предназначен для контроля чистоты и точности исполнения микроэлектронных компонентов в электронной литографии

Анализ микроэлектронных элементов

Оставить заявку

Russian software developer

Official Distributor

Commissioning
and maintenance

Delivery in any
point of Russia and the CIS

Guarantee
12 months

Description

To view the table, scroll horizontally.

Модуль AXALIT Microchips является дополнением к базовой версии ПО AXALIT. Программа применяется для контроля и метрологии полупроводниковых пластин, анализа и морфологии поверхности. ПО позволяет проводить геометрические измерения, создавать панорамные изображение с повышенной глубиной фокуса, нанесение аннотаций.

AXALIT Microchips имеет две методики работы: автоматическое нахождение и распознавание дефектов полупроводниковых пластин; проведение точных замеров дорожек и других микроэлектронных элементов печатных плат и кремниевых пластин.

Распознавание дефектов

С помощью прямого микроскопа оператор сшивает панораму изображения из неограниченного количества полей зрения и запускает ПО.
Классификация дефектов по типам происходит после нахождения контуров дефектов на изображении.
После того как объект найден системой на изображении, происходит его классификация. Каждому типу дефектов присваивается имя согласно ранее обученной базе данных.
Оператор получает итоговый отчёт исследований. На гистограммах приведены количественные показатели дефектов, на прикреплённых изображениях – примеры найденных частиц.

Уникальность модуля

Возможность задавать базу данных различными загрязнителями.
Несмотря на схожесть элементов, ПО отличает одни частицы от других, даже если загрязнитель лёг на элемент самой платы.

Узнайте больше о возможностях ПО AXALIT Microchips из статьи «Внедрение искусственного интеллекта в дефектоскопию МЭМС-производства».

Съёмка по шаблону

При необходимости проведения геометрических измерений в конкретных координатах платы, в AXALIT Microchips реализована возможность съёмки по шаблону.

Принцип работы:

Оператор задаёт координаты контрольных точек, которые программа запоминает.
При запуске методики, программа перемещается по пластине, произведя замеры в указанных точка.
После исследования оператор получает измерения каждого элемента с погрешностью 0,5 мкм.

Посмотрите видео-пример анализа электронной микросхемы по шаблону модулем ПО AXALIT Microchips.

Внимание! Методика "Съёмка по шаблону" работает только на микроскопах с моторизированным предметным столиком. Узнайте о возможности моторизации вашего микроскопа Системой моторизации AXALIT MS.